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原子力显微镜

全自动型原子力显微镜 AFM5500M

产品说明: AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高,配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换,激光对中,测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高...

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产品详情

产品说明: AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高,配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换,激光对中,测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且,通过SEM-AFM共享zuobiao样品台可轻松实现同一视野的相互观察・分析。 1. 自动化功能 · 高度集成自动化功能追求效率检测 · 降低检
 
AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高,配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换,激光对中,测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且,通过SEM-AFM共享zuobiao样品台可轻松实现同一视野的相互观察・分析。
1. 自动化功能
· 高度集成自动化功能追求效率检测
· 降低检测中的人为操作误差
2. 可靠性
排除机械原因造成的误差
· 大范围水平扫描
采用管型扫描器的原子力显微镜,针对扫描器圆弧运动所产生的曲面,通常通过软件校正方式获得平面数据。但是,用软件校正方式不能quan消c扫描器圆弧运动的影响,图片上经常发生扭曲效果。
AFM5500M搭载了新研发的水平扫描器,可实现不受圆弧运动影响的准确测试。
高精角度测量
· 普通的原子力显微镜所采用的扫描器,在竖直伸缩的时候,会发生弯曲(crosstalk)。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。
· AFM5500M中搭载的扫描器,在竖直方向上不会发生弯曲(crosstalk) ,可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。
Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)
* 使用AFM5100N(开环控制)时
3. 融合性
亲密融合其他检测分析方式
通过SEM-AFM的共享zuobiao样品台,可实现在同一视野快速的观察・分析样品的表面形貌,结构,成分,物理特性等。
SEM-AFM在同一视野观察实例(样品:石墨烯/SiO2)
上图是AFM5500M拍摄的形状像(AFM像)和电位像(KFM像)分别和SEM图像叠加的应用数据。
通过分析AFM图像可以判断,SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。
石墨烯层数不同导致表面电位(功函数)的反差。
SEM图像对比度不同,可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。
今后计划与其他显微镜以及分析仪器的联用。
技术参数
马达台 自动精密马达台
*大观察范围:100 mm (4英寸)
马达台移动范围:XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
*小步距:XY 2 µm、Z 0.04  µm
*大样品尺寸 直径:100 mm(4英寸)、厚度:20 mm
样品重量:2 kg
扫描范围 200 µm x 200 µm x 15 µm (XY:闭环控制 / Z:感应器监控)
RMS噪音水平* 0.04 nm 以下(高分辨率模式)
复位精度* XY: ≤15 nm(3σ、计量10  μm的标准间距) / Z: ≤1 nm (3σ、计量100 nm 的标准深度)
XY直角度 ±0.5°
BOW* 2 nm/50 µm 以下
检测方式 激光检测(低干涉光学系统)
光学显微镜 放大倍率:x1 ~ x7
视野范围:910 µm x 650 µm ~ 130 µm x 90 µm
显示倍率:x465 ~ x3,255(27英寸显示器)
减震台 台式主动减震台 500 mm(W) x 600 mm (D) x 84 mm (H)、约28 kg
防音罩 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 约 237 kg
大小・重量 400 mm(W) x 526 mm(D) x 550 mm(H)、约 90 kg

* 参数与设备配置及放置环境相关。
AFM5500M zhuan用原子力显微镜工作站
OS Windows7
RealTune®II 自动调节悬臂振幅、接触力、扫描速率以及信号反馈
操作画面 操作导航功能、多窗口显示功能(测试/分析)、3D图像叠加功能、扫描范围/测量履历显示功能、数据批处理分析功能、探针评估功能
X, Y, Z扫描驱动电压 0~150 V
时时测试(像素点) 4画面(*大2,048 x 2,048)
2画面(*大4,096 x 4,096)
长方形扫描 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
分析软件 3D显示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析
自动控制功能 自动更换悬臂、自动激光对中
大小・重量 340 mm(W) x 503 mm(D) x 550 mm(H)、约 34 kg
电源 AC100 ~ 240 V ±10% 交流
测试模式 标配:AFM、DFM、PM(相位)、FFM 选配:SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM(AC)、EFM(DC)、MFM
选配项:SEM-AFM联用系统
可适用的日立SEM型号 SU8240、SU8230(H36 mm型)、SU8220(H29 mm型)
样品台大小 41 mm(W) x 28 mm(D) x  16 mm (H)
*大样品尺寸 Φ20 mm x 7 mm
对中精度 ±10 µm (AFM对中精度)

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